外型輕巧、兼容性強(qiáng)、高精度的艾里卡特BASIS基礎(chǔ)版質(zhì)量流量控制器專(zhuān)為批量采購(gòu)的OEM設(shè)備集成商而設(shè)計(jì),滿(mǎn)量程流量范圍已覆蓋100 SCCM、1000 SCCM、20 SLPM三種,均支持?jǐn)?shù)字通訊。
隨著量程范圍的加大,基礎(chǔ)版質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用范圍將更廣,例如: 樣氣稀釋、噴氣反應(yīng) 、氣體混合系統(tǒng)等。
BASIS基礎(chǔ)版質(zhì)量流量控制器為OEM系統(tǒng)集成用戶(hù)提供快速、高精度且經(jīng)濟(jì)的流量測(cè)量與控制方案??刂祈憫?yīng)速度快至100毫秒的BASIS基礎(chǔ)版質(zhì)量流量控制器對(duì)入口處的流量波動(dòng)作出實(shí)響應(yīng)、將出口端流量穩(wěn)定控制至規(guī)定的流量值,精度為NIST可溯源:+/-(1.5% Rd + 0.5% F.S.)。
BASIS基礎(chǔ)版質(zhì)量流量控制器向用戶(hù)開(kāi)放相對(duì)靈活的氣體切換選項(xiàng),用戶(hù)可在欲標(biāo)定氣體Air, Ar, CO2, N2, O2, N2O中自行切換,但若預(yù)設(shè)氣體為He或H2,則不可切換成其它氣體。對(duì)于系統(tǒng)集成用戶(hù)而言,靈活的氣體切換意味著可將BASIS基礎(chǔ)版質(zhì)量流量控制器用于多個(gè)不同項(xiàng)目。氣體切換可通過(guò)各種通訊模式實(shí)現(xiàn)――RS-485、RS-232、Modbus串口通訊以及0-5 Vdc模擬信號(hào)。BASIS基礎(chǔ)版質(zhì)量流量控制器同時(shí)開(kāi)放數(shù)字通訊和模擬通訊,無(wú)論P(yáng)LC或PC,均可輕松控制。
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